半導体業界では超高純度の化学薬品が必要とされます。イオン性不純物は、製品の劣化を招く可能性があります。この技術資料では、半導体等グレード28%水酸化アンモニウム溶液に含まれる陰イオン不純物の測定について紹介しています。サンプルマトリックスの妨害を避けるため、サンプルマトリックス除去を伴うインライン中和およびインライン予備濃縮を使用しています。
半導体業界では超高純度の化学薬品が必要とされます。イオン性不純物は、製品の劣化を招く可能性があります。この技術資料では、半導体等グレード28%水酸化アンモニウム溶液に含まれる陰イオン不純物の測定について紹介しています。サンプルマトリックスの妨害を避けるため、サンプルマトリックス除去を伴うインライン中和およびインライン予備濃縮を使用しています。