【技術資料】半導体製造プロセスの工程と品質管理に欠かせない分析
半導体の製造には、汚染物質(コンタミネーション) がウェハ－不良の原因となるため、高い品質基準が要求されています。
半導体の加工にはいくつか工程があり、原材料（単結晶シリコン）を加工して集積回路(IC)を完成させます。各製造工程では、完成品の高い品質を保証するため、細部に至るまで多大な注意を払う必要があります。
半導体製造を最適化するため、水の純度、エッチング液中の酸濃度、めっき浴中の金属濃度、不純物イオンの濃度をモニタリングすることは極めて重要です。
メトロームは最高品質の分析機器を提供すするだけでなく、ノウハウ、ファーストクラスのオンサイトサービスを提供することで、お客様の半導体製造をサポート致します。
メトロームの分析機器を使用し、分析可能なパラメータをまとめたものです。より詳細な情報は、リンク先のメトロームアプリケーションドキュメント(リンク)をご覧いただくか、メトロームジャパンまでお問い合わせく
ださい。
