Die Halbleiterindustrie benötigt hochreine Chemikalien. Ionische Unreinheiten können zu mangelhaften Produkten führen. Diese Applikation beschreibt die Bestimmung anionischer Unreinheiten in 28%iger Ammoniumhydroxid-Lösung in Halbleiterqualität. Zur Vermeidung von Matrixstörungen müssen die Inline-Neutralisation und Inline-Anreicherung mit Matrixeliminierung eingesetzt werden.
