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アプリケーション（技術資料）
イオンクロマトグラフィのお勧め技術情報！【コラム】ご隠居達のIC四方山話
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- 【技術資料】半導体製造プロセスの工程と品質管理に欠かせない分析【技術資料】半導体製造プロセスの工程と品質管理に欠かせない分析法
この技術資料カタログは、半導体製造に関わる品質管理において、メトロームの分析機器を使用して分析可能なパラメータを一覧にまとめたものです。
- 8.000.6059Determination of hazardous substances in electrical and electronic equipment
The Restriction of Hazardous Substances (RoHS) Directive 2002/95/EC stipulates maximum limits for the hazardous metals cadmium, lead and mercury as well as the hexavalent chromium and the brominated flame retardants in electrical and electronic products. To ensure compliance, reliable analysis methods are required.This poster deals with the wet-chemical determination of trace concentrations of the six RoHS-restricted substances in a wide variety of materials including metals, electrotechnical components, plastics and wires. After sample preparation according to IEC 62321, the metals lead, cadmium and mercury are best determined by anodic stripping voltammetry (ASV) and the flame retardants PBB and PBDE are quantified by direct-injection ion chromatography (IC) using spectrophotometric detection. Chromium(VI) can be determined either by adsorptive stripping voltammetry (AdSV) or IC. Both methods are very sensitive and meet prescribed RoHS limits.
- AB-004鉛に含まれるアンチモンの定量（バイアンペロメトリック滴定法）
アンチモン合金鉛ケーブル リード (約 1% Sb) に含まれるのアンチモンを測定するため、バイアンペロメトリック滴定で終点設定をおこなった自動滴定装置を使用して測定したアプリケーションです。0.01 mol/L KBrO3を滴定試薬として使用します。
- AB-147ストリッピングボルタンメトリー法による「電子材料グレード」材料中の７元素の同時微量分析
カドミウム（Cd）、コバルト（Co）、銅（Cu）、鉄（Fe）、ニッケル（Ni）、鉛（Pb）、亜鉛（Zn）の7元素を、ストリッピングボルタンメトリーによりサブppbレベル（検出限界0.05 µg/L）で定量した。Cd、Cu、Pb、Znの測定には二重パルス非拡散型アノード溶出ボルタンメトリー（DP-ASV）法を用い、Co、Ni、Feについては二重パルス還元溶出ボルタンメトリー（DP-CSV）法を用いた（ジメチルグリオキシムまたはカテコール錯体を利用）。VAプロセッサーおよびサンプルチェンジャーを使用することで、これら金属イオンを含む一溶液中の自動同時測定が可能である。本法はシリコンを基盤とした半導体チップ製造における微量分析のために特別に開発されたものであるが、環境分析分野にも十分応用可能である。
- AB-434カールフィッシャー水分計によるリチウムイオン電池材料の水分測定
リチウムイオン電池には水が含まれていてはいけません。なぜなら水がLiPF6などの導電性塩と反応してフッ化水素酸を生成してしまうからです。 リチウムイオン電池に使用される材料のなかには、電量法カールフィッシャー水分計で含水量が正確に、高い信頼性で測定できるものがあります。 このアプリケーションでは、以下の材料の測定を取り上げます︓ １）リチウムイオン電池の原材料（電解質用溶媒、カーボンブラック/グラファイト等） ２）アノードとカソードの電極コーティング剤（スラリー） ３）アノードおよびカソードの被膜とセパレーター膜ならびに複合材料 ４）リチウムイオン電池の電解質
- AN-C-149Determination of ions on surfaces of printed circuit boards
Cleanliness is indispensable in electronics production. Ionic contaminations in particular lead to a drastic worsening of the quality of the printed circuit boards. The present Application Note describes the determination of cations on printed circuit board surfaces. The intelligent Partial Loop Injection Technique (MiPT) used for this purpose permits the determination of cations and anions in the same sample. The determination of the anions is described in AN-S-317.
- AN-EC-011Autolab 回転リングディスク電極 (RRDE) を用いた銅の電着における中間体についての調査
銅はほぼ間違いなく、特に半導体産業において科学技術的に最も関連性のある金属の1つでしょう。この産業で用いられる蒸着プロセスは、デュアルダマシンプロセスとして知られ、それは添加物が存在する上で、酸性の第二銅化合物からの銅の電着に作用します。このApplication Noteでは、銅の電着についての調査と、Cu+中間体検出のための Autolab 回転リングディスク電極 (RRDE) の使用について説明されています。
- AN-EIS-003Electrochemical Impedance Spectroscopy (EIS) Part 3 – Data Analysis
Here, the most common circuit elements for EIS are introduced which may be assembled in different configurations to obtain equivalent circuits used for data analysis.
- AN-EIS-004Electrochemical Impedance Spectroscopy (EIS) Part 4 – Equivalent Circuit Models
Explore how to construct simple and complex equivalent circuit models for fitting EIS data in this Application Note. Nyquist plots are shown for each example.
- AN-EIS-005電気化学インピーダンス分光法 (EIS) その5 - パラメータ推定
等価回路モデルに関するApplication Note AN-EIS-004では、等価回路モデルの構築に用いられる様々な回路素子の概要が示されています。分析中のシステムに適したモデルが確認された後、データ分析における次のステップはモデルパラメータの推定です。これは、モデルのデータへの非線形回帰によって行われます。多くのインピーダンスシステムは、データフィッティングプログラムを伴います。このApplication Noteでは、データをフィットさせるのにNOVAを用いた方法が紹介されています。
- AN-EIS-006電気化学インピーダンス分光法 (EIS) その6 - EISにおける生の信号の測定
このApplication Noteでは、電気化学インピーダンス測定中の個々の周波数のための生のタイムドメインデータの記録の長所について説明されています。
- AN-EIS-007EISデータの当てはめ - 等価回路要素の良い開始値を得るための方法
電気化学インピーダンス分光法 (EIS) は、電極内部液インターフェースにおいて生じるプロセスに関する情報を提供する強力な技術です。EISによって集められたデータは、適正な電気等価回路でモデル化されます。当てはめ手順により、数学関数が実験データの一定の差の内に収まるまで、パラメータの値が変更されます。このApplication Noteでは、許容できる初期パラメータを獲得し、正確な当てはめを実施するためのいくつかの提案が述べられています。
- AN-H-089Automated analysis of hexafluorosilicic acid
Automated determination of the H2SiF6 and HF contents of industrial grade hexafluorosilicic acid.
- AN-NIR-089Quality Control of Laminates
In the semiconductor industry, thermoset resins combined with fabric or paper are used as an intermediate layer between substrates of printed circuit boards (PCB). These polymer-based sheets (laminates) are chosen depending on thickness and their thermomechanical and electrical characteristics. Near infrared spectroscopy (NIRS) is a fast, non-destructive and easy-to-use analytical method which allows the measurement of multiple key quality parameters in less than a minute. The following Application Note describes the determination of the transition time of PCB laminates by NIRS, a parameter correlating with the thickness, glass transition temperature, and tensile strength of the material.
- AN-S-182Bromide and sulfur oxoanions in photographic developer solutions
Determination of bromide, sulfite, sulfate, and thiosulfate in a photographic developer solution using anion chromatography with conductivity detection after chemical suppression.
- AN-S-317Determination of ions on surfaces of printed circuit boards
Cleanliness is indispensable in electronics production. Ionic contaminations in particular lead to a drastic worsening of the quality of the printed circuit boards. The present Application Note describes the determination of anions on printed circuit board surfaces. The intelligent Partial Loop Injection Technique (MiPT) used for this purpose permits the determination of cations and anions in the same sample. The determination of the cations is described in AN-C-149.
- AN-S-365濃縮半導体級水酸化アンモニウム中の陰イオン不純物
この技術資料では、イオンクロマトグラフを使用した、半導体グレード28%水酸化アンモニウム溶液に含まれる陰イオン不純物の測定について紹介しています。サンプルマトリックスの妨害を避けるため、サンプルマトリックス除去を伴うインライン中和およびインライン予備濃縮を使用しています。
- AN-T-218コバルト、ニッケル、マンガンからなるリチウムイオン電池正極材料の完全自動滴定
ニッケル、コバルト、マンガン酸化物の混合物である、いわゆる「NCM」は、酸化コバルトなどの従来の化合物に代わる正極材料として注目を集めています。焼結後の材料やリサイクル電池の品質分析は滴定で可能です。この技術資料ではOMNIS とオプションのピペッティングを組み合わせたシステムによる完全自動滴定システムでの測定例を紹介しています。
- AN-V-185Cadmium and lead in electronic components as part of electrotechnical products
The EU directive on «Restriction of Hazardous Substances» (RoHS) requires the testing of four regulated heavy metals (Pb, Hg, Cd, Cr(VI)) in electrotechnical products. After sample preparation according to IEC 62321 the determination of lead and cadmium in electronic components can be carried out by anodic stripping voltammetry (ASV) using ammonium oxalate buffer pH 2.
- AN-V-186Chromium(VI) in electronic components as part of electrotechnical products
The EU directive on «Restriction of Hazardous Substances» (RoHS) requires the testing of four regulated heavy metals (Pb, Hg, Cd, Cr(VI)) in electrotechnical products. After sample preparation according to IEC 62321 the determination of chromium(VI) in electronic components can be carried out by polarography in ammonia buffer pH 9.6.
- AN-V-187Mercury in electronic components as part of electrotechnical products
The EU directive on «Restriction of Hazardous Substances» (RoHS) requires the testing of four regulated heavy metals (Pb, Hg, Cd, Cr(VI)) in electrotechnical products. After sample preparation according to IEC 62321 the determination of mercury in electronic components can be carried out by anodic stripping voltammetry (ASV) at a gold rotating disk electrode (Au-RDE).
- AN-V-188Cadmium and lead in polymer materials as part of electrotechnical products
The EU directive on «Restriction of Hazardous Substances» (RoHS) requires the testing of four regulated heavy metals (Pb, Hg, Cd, Cr(VI)) in electrotechnical products. After sample preparation according to IEC 62321 the determination of lead and cadmium in polymer materials can be carried out by anodic stripping voltammetry (ASV) using ammonium oxalate buffer pH 2.
- AN-V-189Chromium(VI) in polymer materials as part of electrotechnical products
The EU directive on «Restriction of Hazardous Substances» (RoHS) requires the testing of four regulated heavy metals (Pb, Hg, Cd, Cr(VI)) in electrotechnical products. After sample preparation according to IEC 62321 the determination of chromium(VI) in polymer materials can be carried out by polarography in ammonia buffer pH 9.6.
- AN-V-190Mercury in polymer materials as part of electrotechnical products
The EU directive on «Restriction of Hazardous Substances» (RoHS) requires the testing of four regulatedheavy metals (Pb, Hg, Cd, Cr(VI)) in electrotechnical products. After sample preparation according to IEC62321 the determination of mercury in polymer materials can be carried out by anodic stripping voltammetry (ASV)at a gold rotating disk electrode (Au-RDE).
- AN-V-191Cadmium and lead in metallic materials as part of electrotechnical products
The EU directive on «Restriction of Hazardous Substances» (RoHS) requires the testing of four regulated heavy metals (Pb, Hg, Cd, Cr(VI)) in electrotechnical products. After sample preparation according to IEC 62321 the determination of lead and cadmium in metallic materials can be carried out by anodic stripping voltammetry (ASV) using ammonium oxalate buffer pH 2.
- AN-V-192電気・電子製品の構成要素である金属材料のクロメート皮膜中の六価クロムCr (VI) の定量
EUの「特定有害物質使用制限指令（RoHS）」では、電気・電子製品中の4種の規制重金属（鉛［Pb］、水銀［Hg］、カドミウム［Cd］、六価クロム［Cr(VI)］）の試験が要求されています。 IEC 62321 に準拠した試料前処理を行った後、金属材料上のクロメート皮膜中の六価クロムは、DTPA（ジエチレントリアミン五酢酸）を錯化剤として用いた吸着ストリッピングボルタンメトリー（AdSV）により定量することが可能です。
- AN-V-193Mercury in metallic materials as part of electrotechnical products
The EU directive on «Restriction of Hazardous Substances» (RoHS) requires the testing of four regulated heavy metals (Pb, Hg, Cd, Cr(VI)) in electrotechnical products. After sample preparation according to IEC 62321 the determination of mercury in metallic materials can be carried out by anodic stripping voltammetry (ASV) at a gold rotating disk electrode (Au-RDE).
- TA-019Simultaneous determination of mineral acids, fluoride and silicate in etching baths.
This article describes an ion chromatography method for the simultaneous determination of HF, HNO3, H2SO4, short-chain organic acids, and of H2SiF6 in acid texturing baths.
- TA-020IC-MS and IC-ICP/MS analysis in the environment
This article describes the coupling of ion chromatography with mass spectrometry (IC-MS) and plasma mass spectrometry (IC-ICP/MS) for the trace analysis of potentially hazardous compounds in the environment.
- TA-021Determination of the halogen and sulfur content in complex organic matrices by means of Combustion Ion Chromatography (CIC)
The automated combination of pyrolysis and subsequent ion chromatography (Combustion IC) permits the parallel detection of halogens and sulfur in all flammable solid and liquid matrices. The method is captivating, not only because of its outstanding precision and trueness, but also because of the high sample throughput.
- プロセス分析計による現像液中の水酸化テトラメチルアン モニウム(TMAH)のオンライン モニタリング現像液中の水酸化テトラメチルアン モニウム(TMAH)のオンライン モニタリング
水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)は、主に集積回路（IC）、プリント基板（PCB）、フラットパネルディスプレイ（LCD）の製造に用いられる第4級アモニウム塩で、これらのデバイス製造時のフォトリソグラフィ工程で最もよく使用されます。このプロセスアプリケーションノートでは、オンラインプロセス滴定により現像液中のTMAH濃度をモニターする方法を紹介します。これは、複合pH電極を用いてTMAHを正確に監視することができるマルチパラメータ分析技術です。
