AN-H-100
【技術資料】温度滴定によるフッ硝酸系エッチング液中全酸濃度の測定
概要
この技術資料では、シリコン基板のエッチング工程に用いられるフッ硝酸系エッチング液の全酸濃度を、温度滴定で測定する方法を解説します。具体的には、秤量した試料約1gを2mol/L水酸化ナトリウム標準液で滴定し、単一の発熱終点から硝酸換算の全酸濃度を求める手法を紹介します。さらに、フタル酸水素カリウムによる水酸化ナトリウムの標定や、ソーダライム管を用いた滴定剤の保護、PFA製滴定容器の使用、ブランク値の決定、70%濃硝酸ベースのエッチング酸での繰り返し測定の結果についても解説します。