AN-S-029
イオンクロマトグラフィーによるエッチング試薬中の陰イオン4成分測定
概要
この技術資料では、エッチング試薬中のフッ化物イオン、硝酸イオン、リン酸イオン、硫酸イオンを、化学サプレッション後に導電率検出を行うイオンクロマトグラフィーで測定する方法を解説します。具体的には、エッチング試薬を超純水で1万倍に希釈するだけで分析できる手法を紹介します。さらに、Metrosep Anion Dual 2カラムと炭酸水素ナトリウム・炭酸ナトリウム溶離液、Metrohm Suppressor Module（MSM）を組み合わせた分析条件に加え、流量や注入量などの設定条件についても解説します。
