AN-H-136
【技術資料】2段階の温度滴定によるエッチング浴中塩酸・硝酸の測定
概要
この技術資料では、模擬エッチング浴中の塩酸と硝酸を、2段階の温度滴定で測定する方法を解説します。具体的には、水酸化ナトリウムによる全酸量の滴定と、硝酸銀による塩酸分の滴定を組み合わせ、それぞれの発熱終点から各成分を定量する原理や、試料の前処理が不要である点を紹介します。さらに、859 Titrotherm、804 Ti Stand、800 Dosinoで構成する装置に加え、試料量を変えた回帰によるブランク値の求め方や、塩酸と硝酸の混合比を変えた検討結果についても紹介します。
