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La determinazione della concentrazione di acidi nelle soluzioni acide miste rappresenta un passaggio fondamentale del controllo di qualità per garantire il successo dei processi di trattamento chimico delle superfici (etching). Sebbene i principali metodi analitici, ad esempio la titolazione termometrica, siano ben noti, le difficoltà sorgono nel momento in cui occorre analizzare miscele di tre o più acidi o se la tempistica per ottenere i risultati rappresenta un aspetto di primaria importanza. In questa Application Note viene trattato un metodo di spettroscopia nel vicino infrarosso (NIR) alternativo in grado di determinare in modo affidabile tutti i parametri entro un minuto, perfino in miscele di acidi complesse.

Analizzatore di liquidi DS2500 e un campione riempito in una fiala monouso.
Figure 1. DS2500 Liquid Analyzer e un campione riempito in una fiala monouso.

Soluzioni acide miste a base di tre diversi acidi (AcOH, HF e HNO3) sono stati misurati in modalità di trasmissione con lo strumento DS2500  Liquid Analyzer sull'intero intervallo di lunghezze d'onda (400–2500 nm). Sono state utilizzate fiale monouso con una lunghezza del percorso di 4 mm per una misurazione comoda e veloce. É stato utilizzato il pacchetto software Metrohm Vision Air Complete per l'acquisizione di tutti i dati e lo sviluppo di modelli predittivi.

Tabella 1. Panoramica delle apparecchiature hardware e software
Attrezzatura Numero metrohm
DS2500 Liquid Analyzer 2.929.0010
DS2500 Supporto per fiale da 4 mm 6.7492.010
Fiale monouso, 4 mm 6.7402.010
Vision Air 2.0 completo 6.6072.208

20 spettri Vis-NIR misurati (figura 2) sono stati utilizzati per creare un modello predittivo per la quantificazione delle diverse concentrazioni di acido (AcOH, HF e HNO3). La qualità dei modelli di previsione è stata valutata utilizzando diagrammi di correlazione, che mostrano una correlazione molto elevata tra la previsione Vis-NIR e i valori del metodo primario. I rispettivi valori di riferimento (FOM) mostrano la precisione attesa di una previsione durante l'analisi di routine.

Figure 2. Spettri Vis-NIR di soluzioni di acidi misti con contenuto di acido variabile misurati su un analizzatore di liquidi DS2500. Per motivi di visualizzazione è stato applicato un offset dello spettro.

Risultato AcOH

Figure 3. Diagramma di correlazione per la previsione del contenuto di AcOH in una soluzione acida mista utilizzando un analizzatore di liquidi DS2500.
Tabella 2. Valori di riferimento per la previsione del contenuto di AcOH in una soluzione acida mista utilizzando DS2500 Liquid Analyzer.
Riferimento Valore
R2 0,852
Errore standard di calibrazione 0,124%
Errore standard di convalida incrociata 0,147%

Risultato HF

Figure 4. Diagramma di correlazione per la previsione del contenuto di HF in una soluzione acida mista utilizzando un analizzatore di liquidi DS2500.
Tabella 3. Valori di riferimento per la previsione del contenuto di HF in una soluzione acida mista utilizzando DS2500 Liquid Analyzer.
Riferimento Valore
R2 0,947
Errore standard di calibrazione 0,080%
Errore standard di convalida incrociata 0,133%

Risultato HNO3

Figure 5. Diagramma di correlazione per la previsione del contenuto di HNO3 in una soluzione acida mista utilizzando un analizzatore di liquidi DS2500.
Tabella 4. Valori di riferimento per la previsione di HNO3 contenuto in una soluzione acida mista utilizzando DS2500 Liquid Analyzer.
Riferimento Valore
R2 0,849
Errore standard di calibrazione 0,128%
Errore standard di convalida incrociata 0,139%

Questa Application Note dimostra la fattibilità dello strumento DS2500 Liquid Analyzer per la determinazione delle singole concentrazioni di acidi in una soluzione acida mista. La spettroscopia Vis-NIR consente determinazioni rapide con elevata precisione e rappresenta quindi un'alternativa adeguata al metodo standard (Tabella 5).

Tabella 5. Tempo necessario per determinare il contenuto di acido di una soluzione acida mista mediante titolazione termometrica e spettroscopia NIR.
Parametro Metodo Tempo per il risultato e flusso di lavoro
AcOH, HF e HNO3 Titolazione termometrica (triplice determinazione) ∼25 min. preparazione per la determinazione di il titolo e il valore vuoto
+ 6 min. (3 volte 2 min.) per la titolazione misurazione
AcOH, HF e HNO3 Spettroscopia NIR 1 minuto per la misurazione della spettroscopia NIR
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