AN-H-139
温度滴定によるエッチング浴中硝酸・フッ化水素酸・ヘキサフルオロケイ酸測定
概要
この技術資料では、模擬エッチング浴中の硝酸、フッ化水素酸、ヘキサフルオロケイ酸を、温度滴定で測定する方法を解説します。具体的には、過剰の水酸化ナトリウムを塩酸で逆滴定するヘキサフルオロケイ酸の定量や、ナトリウムとカリウムイオンの存在下でアルミニウムによる沈殿反応を利用するフッ化水素酸の定量、全酸濃度から差し引いて求める硝酸の算出方法を紹介します。さらに、859 Titrotherm、804 Ti Stand、800 Dosino、Thermoprobe HFなどで構成する装置についても紹介します。