AN-H-087
【技術資料】温度滴定による混酸エッチング液中フッ化水素酸の測定
概要
この技術資料では、混酸エッチング液中のフッ化水素酸を温度滴定で測定する方法を解説します。具体的には、ナトリウムイオンとカリウムイオンの存在下で硝酸アルミニウム標準液を滴定し、難溶性のNaK2AlF6が生成する際の発熱から終点を検出する測定原理や、フッ化ナトリウムを用いた標準液の標定方法を解説します。さらに、859 Titrotherm滴定ヘッドと802スターラーを用いた測定条件や、酢酸系緩衝液を用いた試料調製、合成エッチング液での繰り返し測定結果についても紹介します。
