AN-H-016
温度滴定によるアルミニウムエッチング液中のリン酸・硝酸・酢酸測定
概要
この技術資料では、半導体デバイス製造でアルミニウムのエッチングに使われるリン酸・硝酸・酢酸の混酸を、水酸化ナトリウム標準溶液を用いた温度滴定で同時に定量する方法を解説します。具体的には、2mol/L水酸化ナトリウム標準溶液で滴定して得られる3つの発熱終点の差から各酸の含有量を算出する原理を紹介します。さらに、814 USB Sample Processorと859 Titrothermを用いた自動滴定の構成や、飽和塩化ナトリウム溶液を用いた試料調製、系統誤差(ブランク)の求め方についても解説します。
