AN-T-034
【技術資料】電位差滴定によるエッチング浴中フッ化水素酸・硝酸の測定
概要
この技術資料では、電位差滴定法を用いたエッチング浴中のフッ化水素酸と硝酸の定量法を紹介します。まず、複合Sb電極を指示電極とし、NaOHを滴定剤とする電位差滴定により、混酸中の全酸量を求めます。次に、フッ化物イオン電極(F-ISE)を指示電極とし、La(NO3)3を滴定剤とする電位差滴定でフッ化水素酸の濃度を決定します。得られた全酸量とフッ化水素酸量の差から、硝酸濃度を計算によって算出する手順も解説します。組成の異なる2種類のエッチング浴試料を用いた分析結果もあわせて紹介します。
