イオンクロマトグラフィーによる31%過酸化水素溶液および29％水酸化 アンモニウム溶液の陰イオン分析
AN-S-393
ja
半導体の製造工程では超高純度の化学薬品が必要とされます。化学薬品の純度は、パーツの品質ならびに効率的な製造には欠かせません。この技術資料では、過酸化水素と水酸化アンモニウムが、超純水を使用した分解ならびに蒸発といった従来のサンプル前処理工程を行い分析されます。得られたサンプルは、インテリジェント濃縮テクニック (MiPCT) を用いて注入されます。
半導体産業では、電子機器コンポーネントの製造のために高純度、時には超高純度の化学薬品が必要とされます。化学薬品の純度は、パーツの品質ならびに効率的な製造には欠かせません。ここでは、過酸化水素と水酸化アンモニウムが、超純水による再構成が後続する、分解ならびに蒸発といった従来のサンプル前処理メソッドを適用して分析されます。得られたサンプルは、インテリジェント濃縮テクニック (MiPCT) を用いて注入されます。