I bagni di rame acido sono utilizzati principalmente per la deposizione di rame su wafer a semiconduttore. Piccole quantità di cloruro aumentano la velocità di deposizione e riducono la polarizzazione anodica. Tuttavia, concentrazioni più elevate sono indesiderate, in quanto comportano una diminuzione della qualità della deposizione di rame. Pertanto, è molto importante monitorare la quantità di cloruro per avere un processo di deposizione del rame efficace, ma di alta qualità.
In questa Application Note viene presentata una soluzione completamente automatizzata basata sulla titolazione. Rispetto alla cromatografia ionica, la titolazione ha il vantaggio che non è necessaria alcuna diluizione del campione e l'hardware ha un prezzo relativamente basso. Inoltre, la soluzione completamente automatizzata consente agli utenti di ridurre al minimo gli errori di manipolazione, ridurre i carichi di lavoro e garantire un'eccezionale riproducibilità.
Il metodo è dimostrato per un bagno di rame acido. Non è richiesta una preparazione specifica del campione.
Questa analisi viene eseguita su un sistema automatizzato composto da un Sample Processor 814 e un Titrando 905 dotato di un iAg-Titrode con Ag2Rivestimento S.
Ad una quantità ragionevole di campione, vengono aggiunti 5 ml di acido nitrico per acidificare il campione. Quindi, l'acqua deionizzata viene aggiunta per coprire la membrana di vetro e l'anello d'argento dell'elettrodo e il campione viene titolato con titolante nitrato d'argento standardizzato fino a dopo il punto di equivalenza.
L'analisi mostra un risultato accettabile e curve di titolazione ben definite. Il campione analizzato conteneva 49,17 mg/l di cloruro con una deviazione standard relativa dello 0,31% (n = 10). Viene visualizzata una curva di titolazione: esempio figura 2.
La titolazione è un metodo preciso e affidabile per determinare il contenuto di cloruro nei bagni di rame acido.
L'utilizzo dell'814 Sample Processor consente una determinazione completamente automatizzata, liberando tempo prezioso per l'operatore e aumentando così la produttività in laboratorio. Inoltre, automatizzando completamente l'analisi, è possibile aumentare la riproducibilità e ridurre gli errori di analisi dei campioni dovuti a una manipolazione impropria.
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