半导体生产产品手册
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半导体生产产品手册
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功能概述
半导体的生产需要极高的质量标准,因为污染可能会造成晶圆损坏。将原材料(单晶硅)加工为成品集成电路须需及多个步骤。每个步骤都需要格外注重细节,以确保获得高质量的成品。本产品手册中概述了各个感兴趣的参数,其可以通过在实验室或集成在生产流程中,通过滴定法、离子色谱法、伏安测量法和 CVS 或 NIR 及拉曼光谱法进行分析。本概述根据不同生产步骤编制。
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半导体的生产需要极高的质量标准,因为污染可能会造成晶圆损坏。将原材料(单晶硅)加工为成品集成电路须需及多个步骤。每个步骤都需要格外注重细节,以确保获得高质量的成品。本产品手册中概述了各个感兴趣的参数,其可以通过在实验室或集成在生产流程中,通过滴定法、离子色谱法、伏安测量法和 CVS 或 NIR 及拉曼光谱法进行分析。本概述根据不同生产步骤编制。