功能概述

建议将交叉指型电极用于在交叉指型电极区域沉积感应层（半导体金属氧化物）来开发气体传感器。可接合触点可实现绞线的接合。另一方面，由于该器件使用的陶瓷底座材料导热性较高，可以使用铂加热器来控制感应层的工作温度。