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Interdigitale Elektrode, empfohlen für die Entwicklung von Gassensoren durch Aufbringen einer Sensorschicht (Halbleiter-Metalloxid) im interdigitalen Bereich. Bondfähige Kontakte ermöglichen das Drahtbondverfahren. Auf der anderen Seite kann aufgrund der hohen Wärmeleitfähigkeit des in diesem Gerät verwendeten Keramiksubstrats ein Platin-Heizelement zur Regelung der Betriebstemperatur in der Sensorschicht verwendet werden.