通过阴离子色谱分析法，在化学抑制（参见 AN S-277）后采用电导检测，接着在柱后反应后采用 UV/VIS 检测来测定硅酸盐和六氟硅酸（计算值）。六氟硅酸已水解成氟化物和硅酸盐。两种阴离子浓度都可用于计算 SiF 6 2- 的浓度。
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