本文介绍使用温度滴定自动测定 HNO、HF 和 H SiF 混合液（约 200-600 g/L HNO、50-160 g/L HF 和 0-185 g/L H SiF）。可通过 859 Titrotherm 对用于蚀刻硅基片的含 HNO、HF 和 H SiF 的蚀刻酸混合液按顺序执行两项测定。第一项测定包括使用 c(NaOH) = 2 mol/L 标准溶液进行直接滴定，之后用 c(HCl) = 2 mol/L 回滴。通过该项测定可获得 H SiF 含量以及组合（HNO +HF）含量的值。第二项测定包括使用 c(Al ) = 0.5 mol/L 进行滴定以便测定 HF 含量。对于不包含 H SiF 的新鲜的 HNO 和 HF 混合液，适用相关的双滴定序列。两次测定的结果用于计算 HNO、HF 和 H SiF 各自的结果
